年国产半导体大火的时候,young对国产半导体行业有很深的研究。
他完全不像程钢那么乐观:
“国产光刻机远没有外界宣传的乐观,目前国产光刻机实现了28n的制程,但是良品率远没有asl来的高。”
“更重要的在于28n好研究,但是想再往前,14n、7n的光刻机会异常困难。”
“目前光刻机指标有nodecd和halfpitchcd。”
“halfpitchcd是专用于光刻领域描述光刻分辨度的技术指标。比如说前一代193i光刻机,hpcd极限值等于38n.现在的euvnxe3400decd跟hpcd不是一个概念。”
“nodecd是一个半导体器件的概念,目前主流媒体所说的技术节点便是这个nodecd。”
“一般来说nodecd约等于1/2hpcd。”
cd全称是criticaldinsion
“其中11年tel首先将ffet技术引入22n节点。”
“22n要求44n的光刻hpcd。这个要求在实际工艺中很难实现,太接近38n极限值了。”
“所以tel率先使用dou技术。这一技术把同一层的非常靠近的光刻图案分解到两个掩模上。分两次曝光实现。”
“同理,selfaligned的技术也被引入,三次曝光,四次曝光都成为了可能。”
程钢听得满脸问号,内心对young在半导体领域的造诣之深感到震惊。
五十岁的人了对前沿技术信手拈来,能做成idg的合伙人果然都是狠人。
他没有打断young,因为他对这方面也很感兴趣。
“所以就光刻技术而言,分辨率并不是大问题。尤其在selfaligned技术中。deposition淀积可以实现非常好的精度控制,特别是ald,能实现atoonato的精确控制。”
“既然光刻图案需要被分解到多个ask上,芯片的图案自然不能由着芯片ic设计师随意画了,得遵循光刻的规则。”
“花为海思部门有在申海的,有在鹏城的。没一家在弯弯。”
“而这种光刻版图的规则毫无疑问是芯片代工厂的最高机密。tsc不可能透露给客户的。海思只能把逻辑设计交给台积电,台积电再进行制造的优化。”
“海思原始设计没办法考虑这些光刻规则。这也是为什么业界一直认为长期竞争中,tel与三星优势的原因。”
“三星很早就把三次,甚至四次曝光技术引入了nandfsh生产。”
“因此当台积电还在22n时,三星就开始宣传我们已经有14甚至10n技术了。大概是13年的时候。”
“三星与台积电在芯片代工中是竞争对手。台积电嘴巴上当然不能输。悄悄的放宽了nodecd的定义,也把自己技术从22n吹到了14n。”
“这种夸大也延续到了现在,实际上三星跟台积电的7n只比tel的14n强一点,强的有限。”